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一種 Micro LED顯示制造技術(shù)方案

2020-06-24 09:18:59

一、引言Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

昂貴的造價阻擋Micro顯示技術(shù)實際應(yīng)用,昂貴來自巨量轉(zhuǎn)移良品問題。巨量轉(zhuǎn)移問題關(guān)鍵,不是轉(zhuǎn)移,而是尺寸微?。ㄎ⒚准墸┑腖ED的兩電極與驅(qū)動電路精準(zhǔn)鍵合,巨量的情況下保證良品率。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

本技術(shù)方案:同規(guī)格的RGB三種晶圓,分別與芯片基板對位貼合,LED膜片與芯片基板上的TFT驅(qū)動電路精準(zhǔn)鍵合,剝離分開;LED膜片三次晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移,得到RGB芯片基板,解決了精準(zhǔn)及效率問題。裁切下的RGB模組芯片(比如4x4mm),篩選剔除廢品,SMT 至PCB板上,就構(gòu)成Micro RGB顯示屏,可實現(xiàn)工廠顯示屏良品率100%。所涉及的工藝技術(shù)都是現(xiàn)有的。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

二、晶圓級規(guī)模LED膜片轉(zhuǎn)移Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

(一)R LED膜片晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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芯片基板采用玻璃,便于其上制造薄膜晶體管TFTTe6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

芯片基板上的焊盤位置與LED膜片在其生長晶圓的位置一一相對應(yīng),生長晶圓直接與芯片基板對位貼合,LED膜片精準(zhǔn)對著芯片基板上的焊盤,只有需要轉(zhuǎn)移的LED膜片上設(shè)置有鍵合料(焊料),LED膜片鍵合(焊接)至芯片基板上,采用激光剝離工藝,得到R芯片基板。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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三分之一的R LED膜片從其生長晶圓上精準(zhǔn)鍵合轉(zhuǎn)移到芯片基板上Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

精準(zhǔn)對位和規(guī)模轉(zhuǎn)移效率問題解決了Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

同一片芯片基板上的R LED膜片全部取自于同一片生長晶圓,其膜片轉(zhuǎn)移稱為晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移,即一次晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移中,有三分之一的生長晶圓上的LED膜片,轉(zhuǎn)移到芯片基板上。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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每種生長晶圓上的LED膜片完成全部轉(zhuǎn)移,要經(jīng)過三次晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

(二)G LED膜片晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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完成R LED膜片轉(zhuǎn)移的芯片基板,再與G生長晶圓對位貼合,進(jìn)行G LED膜片的晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移,得到RG芯片基板。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

(三)B LED膜片晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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完成R LED膜片以及G LED膜片轉(zhuǎn)移得到的RG芯片基板,再與B生長晶圓對位貼合,進(jìn)行B LED膜片的晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移,得到RGB芯片基板。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

R、G、B三種生長晶圓的規(guī)格相同,Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

RGB芯片基板需要經(jīng)過三次(R、G、B)晶圓級規(guī)模LED膜片轉(zhuǎn)移。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

每種生長晶圓上的LED膜片完成全部轉(zhuǎn)移,要經(jīng)過三次晶圓級規(guī)模轉(zhuǎn)移。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

三、RGB模組芯片Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

RGB芯片基板完成后續(xù)的工序(外側(cè)絕緣護層、外側(cè)電極以及引線、等等)后,就可分裁得到RGB模組芯片:Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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外側(cè)電極通過側(cè)壁引線與貼片焊盤導(dǎo)通,外側(cè)電極共一貼片焊盤,薄膜晶體管(TFT)驅(qū)動電路通過過孔與貼片焊盤導(dǎo)通。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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LED膜片兩電極內(nèi)外兩側(cè)設(shè)置,降低了LED膜片鍵合難度;內(nèi)外電極相互錯位分開,有利于微小電流下光電效率。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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左下圖是一種LED顯示驅(qū)動原理圖。采用該驅(qū)動方式,RGB模組芯片至少要有5個焊盤。右下圖是一4x4mm的RGB模組芯片的管腳面視圖,有5個貼片焊盤,0.7mm的間距,貼片精度要求不高,常規(guī)的貼片工藝。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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四、RGB LED全彩屏Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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裁切下的RGB模組芯片(比如4x4mm),經(jīng)篩選剔除廢品,SMT 至PCB板上,就構(gòu)成Micro RGB顯示屏。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

篩選剔除廢品,就可確保模組芯片的良品率100%,4x4mm為常規(guī)貼片,100%的良率常規(guī),就可實現(xiàn)工廠顯示屏良品率100%。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

像素間距為0.1mm(P 0.1),4x4mm模組芯片共有1600個像素點,即RGB芯片基板的素點的失效率不高于萬分之五,就可確保模組芯片的良品率100%,顯示屏良品率100%。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

顯示屏像素點的允許失效率為百萬分之一,而本技術(shù)方案素點的失效率降低到不高于萬分之五,要求下降了100倍,避開了巨量之下良品率帶來的造價高起。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

本技術(shù)方案所涉及的工藝技術(shù)都是現(xiàn)有的,Micro RGB顯示屏量產(chǎn)實用不用等五年,將是眼前之事。Te6LED顯示屏廠家|江蘇迷你光電有限公司

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